基于MEMS技术的环境类传感器

团队/企业名称：亚马喇传感科技

项目名称：基于MEMS技术的环境类传感器

项目及团队简介：

传感器是基础核心产业之一，是前途光明的高技术产业，是信息化、物联网的基础支撑，传感器产业也是我国创新发展的重点之一。气体传感器和温湿度传感器是传感器领域的重要组成部分，广泛应用于工业、民生、市政、安全等各个领域，与国计民生的联系日益紧密，正在逐渐成为引人注目的焦点。

本项目旨在研制基于MEMS技术的环境类传感器，具体包括MEMS半导体气体传感器、MEMS温湿度传感器。本项目旨在研制基于MEMS技术的环境类传感器，具体包括MEMS半导体气体传感器、MEMS温湿度传感器。

气体传感器

1 国内领先的 MEMS 微热板的设计与制作

2 晶圆级气敏材料的涂覆，采用晶圆级丝网印刷工艺，避免传统的手工沾涂的方式，

极大的提升效率和一致性

3 数字输出，采用国产单片机，内置校准数据，直接输出目标气体的校准信号值

温湿度传感器

1 电容性湿敏材料性能优异且团队掌握配方和合成

2 电容式湿度前端采用 CMOS 兼容的 MEMS 工艺，可大规模生产，成本低

3 温湿度一体，数字输出

亚马喇传感科技团队是由澳门大学应用物理与材料研究所的三位在读博士和澳门大学模拟与混合信号超大规模集成电路国家重点实验室的一位在读硕士组成的纯技术型团队。团队专注于基于MEMS技术的环境类传感器，致力于MEMS气体传感器、MEMS温湿度传感器、MEMS环境组合式传感器的研发与解决方案的提供。亚马喇传感科技团队，非常注重原创性技术研发以及知识产权保护，研发成果也以专利的形式及时申请了保护。到目前为止，团队成员作为发明人已申请相关专利 4 项，其中发明专利 2 项、实用新型专利 2 项。

团队图片：