激光干涉光刻设备及其产业化

企业名称：InterLitho Technology Limited

项目名称：激光干涉光刻设备及其产业化

简介：公司成立于2018年11月，注册于中国香港特别行政区，是由香港大学、香港创新科技署“大学科技初创企业资助计划”支持，香港科学园孵化的科技初创企业，公司以激光干涉光刻为核心技术，致力于研发属于中国自己的纳米光刻设备，成为高端微纳米制造解决方案的供应商，为打破 “卡脖子”现状贡献一份力量。